真空阀门的驱动方式为磁力驱动的即为电磁阀。电磁真空阀的密封机构与挡板阀相同，平时，电磁阀的阀盖靠弹簧压紧封住管路通道，需要开启时，将电磁线圈接通电流，磁力即吸引衔铁，带动阀盖，将阀门打开。有的电磁真空阀设计成带充气的。称为电磁真空带充气阀，是专门安装在油封式机械泵入口管路上的专用阀门。阀门与泵接在同一电源上，泵的启动与停止直接控制了阀的开启与关闭。当泵停止工作或电源突然中断时，阀能自动将真空管路封闭，并将大气通过泵的进气口充入泵腔，避免泵油返流污染真空系统。

 
(1)针阀
    针阀是一种微调阀，其阀塞为针形，主要用作调节气流量。微调阀要求阀口开启逐渐变大，从关闭到开启最大能连续细微地调节。针形阀塞即能实现这种功能。针形阀塞一般用经过淬火的钢制长针，而阀座是用锡、铜等软质材料制成。阀针与阀座问的密封是依靠其锥面紧密配合达到的。阀针的锥度有1：50和6o锥角两种，锥表面要经过精细研磨。图中的阀杆与阀座问的密封是靠波纹管实现的。

 
(2)超高真空阀
    通常的高、低真空阀门，密封垫圈的材料为橡胶，不能承受高温烘烤。因而    不能使用在超高真空设备上。能使用在超高真空设备上的超高真空阀门必须满足：(1)能承受高温(400～450℃)多次烘烤；(2)放气量小，气密性好；(3)重复性好；(4)流导大。
 
(3)玻璃真空活塞
    玻璃活塞山开有孔的锥形芯子及带有连接管的外套组成，芯子与外套之间的接触面是磨光面，其问涂以真空封脂以取得密封。气体的通路由芯子上的孔和所对准的连接管决定，转动芯子便可控制气体通路。因用封脂密封，芯子与外套之间就不会漏气。

 
(4)无油玻璃真空阀
    为避免真空油脂对真空环境的影响，可以采用液态金属密封和磨砂口密封。
    液态金属密封的玻璃真空阀，当要关闭阀门时，用磁铁将装有液态金属的玻璃杯提起，使上部玻璃管插入液态金属内，便可阻断气路；打开时，用磁铁将玻璃杯放下。液态金属一般使用镓铟锡合金，当镓铟锡比例为62.5％、21.5％、16％时，其熔点只有10.7℃，在室温下为液态，它的饱和蒸气压很低，甚至在500℃时仍低于10-6Pa。
  玻璃磨口密封的无油真空阀，其密封是由一半球状玻璃阀体与一半球状阀座之间的精密磨光面接触来实现的。阀门的开启和关闭仍由磁铁从外部操纵。因是半球状接触，接触面积足够大，所以能保证良好密封。
    以上两种玻璃真空阀均可应用于超高真空系统中，但两侧不能承受大的压强差，只能应用在两侧压强相近(相差200～400Pa以内)的场合。
    玻璃真空阀只能做成小型的，大口径的阀门必须用金属制造。

 
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